第133章 老祖宗的东西 (第2/2页)
比较后,euv光刻机的电力消耗,机器贵,那都是小k厮了。 但是,现在陈申将基材换了,不再是硅,而是石墨烯! 原因是,它的拉伸性能好,可以拉伸自身长度的20%。 这项老早就存在的技术,立马就被从古董箱子里面翻出来了,经过王院士和各路顶尖专家近乎一年的辛勤付出,设备,制造好了。 “那就现在开始印制实验吧。” “你们那边,技术攻破了?” “那当然,很巧,今天全部攻克。” “好,好,太好了……” 设备不能移动,不,也不能说设备不能移动,而是环境。 生产环境太苛刻了! 积积电160万平方米的无尘室,不能有一丝灰尘在里面,10级无尘室! 王教授那边虽然暂时还没有达到如此要求,但也不遑多让了。 陈申带着研究中心的人员,带着密码箱,上了车,向着目标地点而去。 把头发扎在网中,穿上无尘服,进行彻底的空气淋雨,陈申这才进入车间中。 王浦和在陈申身边介绍到:“车间的通风系统,我们经过了多层过滤,确保不会有一丝空气中的灰尘或颗粒物进入其中。” “对温度,湿度,哪怕是设备运行的震动,都有严格的参数指标,确保不会对生产产生任何影响。” “王院士,辛苦你了。” “嗨,这说的什么话,都是为了国家做贡献,说什么辛苦不辛苦的。” 有条不紊的程序展开,陈申看着技术人员不断的调试设备,眼中一片璀璨。 “纳米压印技术,其实已经是一个成熟的技术了,只是在我们国家,芯片生产领域应用不多。” “像太阳能电池板的生产,光学器件的生产,印刷领域等等,都在应用这项技术。” 陈申看着工作人员的忙碌,问道:“有哪些优点和缺点呢?” 还没轮到王院士说话,强华集成电路的老总,石巍然已经率先出口。 这个厂子,就是他的。 “有很多优点,我们纳米压印的母版比光刻机的掩膜版设计更简单。” “我们可以1比1,参照实际图案制作,和雕刻图章差不多,反着雕刻就行了。” “而光刻机的掩膜版,就太过复杂了,比如光会存在衍射的行为,一个纳米级的长条形,用光照射过去,可能就是一条弯弯曲曲的小蛇,需要修饰掩膜版,掩膜版上的图案变成小蛇,得到的才能是标准的长条形。” “对技艺的考究,非常高,要精细计算光线的衍射和考虑失真问题,设计的掩膜版图案和做出的产品图案,可以说是风马牛不相及。” “而纳米压印,不需要考虑这些东西。” “这项技术,还减少了很多步骤,只要母版能做到什么程度,那就直接压印就好,不需要反复多层曝光。” “母版制作也简单,光刻机的掩膜版需要多种多样的材料,比如有不透光的,吸光的,透光的,而这项技术的母版,硬塑料玻璃都可以,一种材料解决。” 陈申打断了报喜不报忧的石总,问道:“缺点呢?” “额,就是合格的母版良品率很低,28纳米的母版,我们做到今天,才有了合格的一套,如果继续下去……” 陈申笑了,看着石总道:“总比光刻,7纳米向5纳米,3纳米进军简单吧。” 在场人都笑了,这说的倒是,他们,更难!尽虚叹的初三学渣获诺奖,能上高中吗?
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